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單晶硅晶圓全自動(dòng)測(cè)量方案

單晶硅晶圓全自動(dòng)測(cè)量方案,主要由三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、上下料庫(kù)位,機(jī)器人及抓手,自動(dòng)夾具,讀碼槍?zhuān)詣?dòng)測(cè)量控制系統(tǒng)等組成,實(shí)現(xiàn)晶圓的自動(dòng)上下料,自動(dòng)測(cè)量,數(shù)據(jù)自動(dòng)保存及判定等功能。

應(yīng)用方向

單晶硅晶圓的全自動(dòng)測(cè)量,以及類(lèi)似圓盤(pán)薄片零件的測(cè)量需求


技術(shù)優(yōu)勢(shì)

? 除人工送檢外,其余動(dòng)作均自動(dòng)完成,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)上下料、自動(dòng)吸附、自動(dòng)檢測(cè)、給出檢測(cè)結(jié)果便于機(jī)器人分揀下料;

? 機(jī)器人抓手及自動(dòng)夾具均采用特殊材質(zhì),避免對(duì)工件表面的二次污染;

? 機(jī)器人抓手及自動(dòng)夾具可兼容多種單晶硅片,工件換型時(shí),只需提前配置測(cè)量程序即可;


用戶收益

? 節(jié)省人力成本:全自動(dòng)檢測(cè)方案,無(wú)需操作人員

? 效率提升:全自動(dòng)上下料、檢測(cè)方案,正反面一次測(cè)量完成,提高系統(tǒng)檢測(cè)效率 100% 以上

? 提高設(shè)備利用率:全自動(dòng)檢測(cè)滿足 24 小時(shí)生產(chǎn),提高設(shè)備利用率至 95% 以上

? 數(shù)字化:檢測(cè)完畢,自動(dòng)關(guān)聯(lián)工件身份信息存儲(chǔ)測(cè)量報(bào)告;并實(shí)時(shí)將檢測(cè)數(shù)據(jù)傳遞至客戶數(shù)據(jù)庫(kù),提高數(shù)字化和追溯性

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